分类： 高纯电子气体

三氟化硼

三氟化硼（BF3）是一种无色、有毒、不可燃、具有腐蚀性的高压气体。 应用 在半导体工业中，三氟化硼可用于：半导体中的 p 型扩散。

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三氯化硼

三氯化硼（BCl₃）是高 K 和金属各向异性等离子体蚀刻的主要气体成分。原子层蚀刻和脉冲等离子体蚀刻。BCl₃ 主要用于

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7N 氨

氨是一种无机物，化学式为 NH3，分子量为 17.031，无色，有强烈的刺激性气味。  

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6N 氧气

氧气是一种无色、无臭、无味的气体。在 21.1℃和 101.3kPa 的温度下，气体（空气=1）的相对密度为 1.105，而液体的密度则为 1.05。

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5N 氧化亚氮

根据纯度的不同，一氧化二氮（通常被称为 "笑气"）被广泛应用于食品、医疗和半导体行业。氧化亚氮可用于

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