分类：工业气体

二氧化碳

二氧化碳是一种无色、无臭、无味、无毒的气体。熔点-56.6°C（0.52MPa），沸点-78.6°C（升华），密度 1.977g/L。用于冷却

氩气

氩气是气相色谱法中最常用的载气之一。氩气在溅射、等离子刻蚀和离子蚀刻中用作载气。